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　　2、物料平衡

　　本项目在生产过程中使用50多种化学原料，根据中芯国际集成电路制造(上海)有限公司的经验，对拟建项目所涉及的主要物料流失在废水、废气及固体废物和回收废液中情况进行分析。

　　3、氟平衡

　　拟建项目氟的投加以无机氟和有机氟原料进入生产线，根据使用含氟原料中氟的含量计算氟的投加量，其中无机氟87 956.62kg/a、有机氟17 315.9kg/a。项目氟的产出主要以废气、废水、废渣中氟化物方式流失到环境中，该项目采取了含氟废气洗涤，废水除氟治理措施，因此大部分的氟以固体废物排出，主要是以氟化钙方式排放。生产中有机氟化物用电浆法将其电离成氟离子，电离率一般5%一20%，其余未电离部分和未用尽的离子氟均进入区域除害装置，主要采用是碳纤维吸附，处理效率95%，然后进入酸气洗涤塔，洗涤后排入大气。氟平衡图见图6，氟平衡计算结果如下：

　　进入废气量：855kg/a;

　　进入废水量：5112.9kg/a：

　　进入废渣量：生产工艺中含氟废水、酸碱废水、含氨废水处理前总含氟量

　　84535.2kg/a;处理后进入固体废物的含氟量：79423.2kS/a;

　　理论值：81 988.7kg/a：

　　平衡误差：3.1%。

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　　需要指出的是有机氟化物经电离后(约5%，即865.8kg/a)用于工艺清洗，但最终是先进入炭纤维吸附装置处理后排入酸气洗涤塔，然后放入大气，这部分含氟废弃主要是有机大分子氟化物，比较稳定。带入废水中经过含氟废水处理装置后，排到固体废弃物中约有95%即16450kg/a，进入区域除害装置，由炭纤维剂吸附，这部分固体废物本厂不作处理，由炭纤维吸附剂专门厂商进行回收处理。

　　4、其他物料平衡

　　六氟化钨有85%流失到大气、水环境和污泥中;存在钢瓶(桶)退回原厂的占10%。

　　异丙醇工艺中使用后，100%流失到大气、水环境和废液中。

　　氨在工艺中使用量为112129.65kg/a，0.04%流失到大气中，5.2%流失到废水中，其余94.76%以(NH3)2504形式流失到废液中;存在钢瓶(桶)退回原厂的占10%。